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產(chǎn)品中心

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槽式濕法制程設(shè)備

全自動(dòng)槽式超薄片清洗機(jī)

特點(diǎn)：

生產(chǎn)主線為：腐蝕槽1、沖水槽2、輕刻槽3、沖水槽4、上下料臺，共4個(gè)清洗工位。右進(jìn)右出設(shè)備。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺是一個(gè)人機(jī)界面（觸摸屏）加PLC控制的全自動(dòng)控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上下料工位上，再由PLC控制機(jī)械手將花籃輸送到各個(gè)工位，按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各工藝處理。

清洗能力：6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette；

圓片厚度范圍：6寸：150微米-300微米；8寸：150微米-300微米；




產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品詳情：

項(xiàng)目

說明

機(jī)臺型號

CGB-WBXX-XXXX；

機(jī)臺數(shù)量

1臺（套）；

機(jī)臺重量

XX；

清洗能力（采購方提供cassette樣品）

6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette； 片盒采購方提供；

圓片厚度范圍

6寸：150微米-300微米；8寸：150微米-300微米；

片架

6寸8寸為25片標(biāo)準(zhǔn)片架，8吋卡塞型號：192A型；

功能

本設(shè)備為全新設(shè)備，用于6吋和8吋超薄片硅腐蝕、HF處理、純水沖水；

產(chǎn)能要求

濕法制程清洗工藝XXXX    Pcs /月（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時(shí)/天，26天/月計(jì)算，預(yù)估值）；

設(shè)備形式（潔凈度：千級潔凈室）

室內(nèi)放置型   ；

機(jī)臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)

聚丙烯磁白PP （）；

阻燃聚丙烯PP（）；

阻燃米黃色聚氯乙烯PVC（√）；

SUS304單鏡面板材（）； 

機(jī)臺視窗

材質(zhì)

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC （√）；

SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃（）   ；

模式

上下舉升式（）；

單（雙）門對開式（）；

左右推拉式（√）；

機(jī)臺主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)

碳鋼結(jié)構(gòu)骨架；

防漏盤

材質(zhì)

聚丙烯磁白PP板材；

模式

分體式  每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm；

漏液檢測裝置

材質(zhì)

防腐材質(zhì)；

點(diǎn)式

單點(diǎn)式；

其它

水平調(diào)整

通過地腳調(diào)整設(shè)備水平；

設(shè)備移動(dòng)

設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用；

臺面板

材質(zhì)

￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   聚丙烯磁白PP板材（）；

￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   阻燃聚丙烯PP板材（）；

￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   阻燃米黃色聚氯乙烯PVC板材（√）；

相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經(jīng)過時(shí)漏液（）；

￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   SUS304單鏡面板材（）；

模式

可拆式（√）；

一體式（）；

排風(fēng)系統(tǒng)

排風(fēng)口位置

設(shè)備后頂部（√）；

設(shè)備后下部（）；

設(shè)備后部（）；

排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)

1.排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到更佳，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板；

2.為了方便操作人員根據(jù)情況及時(shí)調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到更佳使用效果；

2.設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機(jī)臺U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機(jī)臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)；

機(jī)臺的電控系統(tǒng)

安裝在機(jī)體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動(dòng)操作復(fù)位功能。每個(gè)機(jī)臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動(dòng)維護(hù)、自動(dòng)運(yùn)行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報(bào)警信息、歷史記錄、維護(hù)信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級加密進(jìn)入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限；

工藝記錄儲存類型

工業(yè)條碼槍+PLC+觸摸屏

使用程序時(shí)刷條碼確認(rèn)程序,完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細(xì)記錄存儲,便于采購方對生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控; 程序運(yùn)行記錄可定時(shí)存儲，存儲數(shù)據(jù)類型參考如下：程序號、操作者、槽體溫度、設(shè)定時(shí)間、運(yùn)行時(shí)間、報(bào)警信息等（待定）。

規(guī)格特點(diǎn)：
01）工藝說明: 自動(dòng)傳動(dòng)，自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個(gè)過程全自動(dòng)進(jìn)行；
02）全程自動(dòng)化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
03）搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng)，幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；
04）搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動(dòng)過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
05）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；

06）工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；

07）整機(jī)在使用、運(yùn)行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等；

08）整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；

09）整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；

10）整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；

11）機(jī)臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個(gè)），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；

12）整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，最低處設(shè)有漏液報(bào)警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時(shí)沖洗；

13）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯(cuò)設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；

14）設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染小化；

15）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；

16）工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；

17）軟件具有防呆功能；

18）搬運(yùn)機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等），以保護(hù)操作人員安全；

19) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；

20) 機(jī)臺上下料區(qū)配水***2把；

21) 機(jī)臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號報(bào)警裝置）；

22) 機(jī)臺總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報(bào)警裝置）；

23) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；

24) Cassette transfer time < 5sec；

25) 機(jī)臺電器部分具備正壓N2保護(hù)，防止腐蝕；

26）具有作業(yè)記錄功能，可以 USB 接口 U 盤調(diào)取，配置攝像頭，并配置硬盤用于視頻保存，視頻保留時(shí)間不少于 30 天；

27）兩個(gè)藥業(yè)槽工藝時(shí)間到后有聲光提示；

28）機(jī)臺地腳做防腐處理：1.噴防腐漆，2.增加PP防護(hù)盒；

29）供液系統(tǒng)人工換桶時(shí)防止廢液回流，加裝收集桶；

30）機(jī)臺具備漏液監(jiān)測功能，如發(fā)生漏液報(bào)警時(shí)自動(dòng)關(guān)閉排液功能；

31) Cassette搬運(yùn)使用工裝方式；