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1. 工作原理

全自動(dòng)GAN去光阻清洗機(jī)的工作原理主要利用激光吸附、?瞬時(shí)膨脹和易離化，?以及沖擊清理的過(guò)程進(jìn)行表面清洗。??其工作原理通常包含以下三個(gè)主要過(guò)程：?

1) 激光吸附：?將激光束照射到工件表面時(shí)，?激光能量被工件表面的有機(jī)和無(wú)機(jī)雜質(zhì)吸收。?這些雜質(zhì)吸收的激光能量將其加熱至瞬態(tài)高溫狀態(tài)，?部分燃燒成為氣態(tài)，?形成氣體等離子體區(qū)域，?從而利用這一現(xiàn)象將工件表面的雜質(zhì)清除。?

2) 瞬時(shí)膨脹和易離化：?當(dāng)表面雜質(zhì)被加熱時(shí)，?它們以非?？斓乃俣葟谋砻媾蛎涢_(kāi)來(lái)。?這個(gè)過(guò)程稱為瞬時(shí)膨脹和易離化。?在加熱和膨脹后，?雜質(zhì)在空氣中形成一個(gè)氣囊環(huán)，?達(dá)到其容量的兩倍以上，?同時(shí)變得容易剝離。?

3) 沖擊清理：?利用氣囊環(huán)，?激光清洗機(jī)使用高壓氣體噴嘴來(lái)打破氣囊區(qū)域，?將雜質(zhì)從表面沖走。?這種方法使用高能激光深入雜質(zhì)表面，?同時(shí)對(duì)工件表面造成的破壞非常小。?

2. 工作流程

生產(chǎn)主線為：上料臺(tái)、超聲循環(huán)溢流槽1、循環(huán)溢流槽2、循環(huán)溢流槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺(tái)，共5個(gè)制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長(zhǎng)；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺(tái)是一個(gè)人機(jī)界面（觸摸屏）加PLC控制的自動(dòng)控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機(jī)械手將花籃輸送到各個(gè)工位，按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各個(gè)工位進(jìn)行相應(yīng)的處理。

3. 清潔能力

4 inch   2 cassette / Batch  25 Pcs/cassette；6 inch     1 cassette / Batch  25   Pcs/cassette；

4. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1) 高效性：?全自動(dòng)GaN去光阻清洗機(jī)采用多槽體、?多工序設(shè)計(jì)，?能夠一次性完成多個(gè)清洗步驟，?大大提高了清洗效率。?

2) 環(huán)保性：?采用非接觸式清洗方式，?減少了對(duì)GaN晶片的磨損和損傷，?同時(shí)減少了水資源的浪費(fèi)和污水排放。?設(shè)備還設(shè)有循環(huán)過(guò)濾和回收系統(tǒng)，?保證了清洗溶液的清潔度，?降低了生產(chǎn)成本。?

3) 穩(wěn)定性：?設(shè)備采用PLC工控機(jī)程序控制，?全自動(dòng)輸送方式，?運(yùn)行平穩(wěn)快捷。?同時(shí)，?設(shè)備具有自我診斷功能，?能夠在出現(xiàn)故障時(shí)自動(dòng)停機(jī)并報(bào)警，?確保了生產(chǎn)安全。?

4) 靈活性：?各槽清洗時(shí)間可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)定和調(diào)整，?以適應(yīng)不同的清洗需求。?

5) 高精度：?對(duì)于GaN晶片的清洗，?全自動(dòng)GaN去光阻清洗機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的清洗效果，?確保晶片表面的光阻層被徹底去除。?

5. 產(chǎn)品特點(diǎn)

1) 工藝說(shuō)明: 自動(dòng)傳動(dòng)，自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個(gè)過(guò)程全自動(dòng)進(jìn)行；

2) 全程自動(dòng)化控制，工藝  過(guò)程中沒(méi)有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；

3) 搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng)，幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；

4) 搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開(kāi)關(guān)、系統(tǒng)急停開(kāi)關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動(dòng)過(guò)載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；

5) 搬運(yùn)機(jī)械手運(yùn)行平穩(wěn)，帶有過(guò)載和過(guò)流保護(hù)，工藝槽發(fā)生異常報(bào)警需將工藝槽產(chǎn)品放置到溢流槽保護(hù)并立即啟動(dòng)報(bào)警（手臂故障需要立即發(fā)出報(bào)警并不可消除）；當(dāng)工裝出現(xiàn)意外情況時(shí)程序自動(dòng)將藥液排空注入DIW稀釋救貨；

6) 工藝槽設(shè)有花籃物理檢測(cè)裝置，防止壓籃；

7) 溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；

8) 優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量；

9) 工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；

10) 整機(jī)在使用、運(yùn)行過(guò)程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無(wú)溢出油污等，需潤(rùn)滑的零件必須密封處理；

11) 整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過(guò)溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；

12) 整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；

13) 整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；

14) 機(jī)臺(tái)設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個(gè)），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；

15) 整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，處設(shè)有漏液報(bào)警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時(shí)沖洗；

16) 清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識(shí)或防錯(cuò)設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；

17) 設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；

18) 設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；

19) 廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類(lèi)排放；

20) 設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護(hù)區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入酸堿廢液總管；

21) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無(wú)法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；

22) 搬運(yùn)機(jī)械手抓驅(qū)動(dòng)部分為電機(jī)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)完成動(dòng)作并配有傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),抓取部位設(shè)有防壓框傳感器,檢測(cè)抓取成功與否；

23) 搬運(yùn)機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等），以保護(hù)操作人員安全；

24) 工藝槽工作區(qū)域與機(jī)臺(tái)控制外配有安全監(jiān)測(cè)裝置，防止搬運(yùn)機(jī)械手對(duì)操作人員的意外損傷；

25)   設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；

26)  機(jī)臺(tái)上料下料區(qū)各配水***2把；

27) 機(jī)臺(tái)排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；

28) 機(jī)臺(tái)總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；

29) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；

30) 根據(jù)工藝要求選擇配套UPS電源（15-20min）；

31)  排風(fēng)調(diào)節(jié)板根據(jù)風(fēng)壓可自動(dòng)調(diào)節(jié)；

6. 安裝及售后

1) 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗(yàn)、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試設(shè)備。

2) 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問(wèn)題的分析和緊急處理程序。

3) 無(wú)償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時(shí)內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時(shí)到現(xiàn)場(chǎng)反應(yīng)時(shí)間。保修期外保證在接到客戶請(qǐng)求維修服務(wù)后24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。

4) 可提供隨機(jī)備件、易損品及隨機(jī)工具。