SEMICON China 2023現(xiàn)場盛況與您共享！
SEMICON China 2023會議
全球半導(dǎo)體行業(yè)規(guī)模最大的旗艦展覽盛會SEMICON China 2023會議于2023年6月29日在上海新國際博覽中心盛大開幕，展覽面積達90000平方米，1100家展商設(shè)置4200多個展位，并同期舉辦20多場重要會議和活動，這次會議不僅僅是一個展覽會，更是整個產(chǎn)業(yè)鏈的交流平臺。
此次會議我司攜帶專業(yè)的技術(shù)研發(fā)團隊
及設(shè)備模型參加展覽
槽式全自動RCA清洗機系列
該系列設(shè)備為我公司開發(fā)的專利產(chǎn)品，涵蓋了全部的RCA清洗技術(shù)，專業(yè)應(yīng)用于SiC襯底和SiC外延片最終清洗，通過自主開發(fā)的控制軟件，有效地將多ROBOT運動軌跡，與清洗工藝有機結(jié)合，避免了交叉污染，保證了清洗工藝的順利實施。集成在線的甩干機或Marangoni dryer單元，保證了晶片干進干出，便于晶片進入下一工序。
采用本設(shè)備清洗后的6英寸SiC晶片，表面顆粒達到<30顆/片@0.3微米，表面金屬雜質(zhì)殘留<5E10（16種金屬離子），完全滿足SiC器件工藝對表面的技術(shù)要求。
半自動清洗機系列設(shè)備
該系列設(shè)備涵蓋Si/SiC襯底片加工全過程的清洗工藝，包括晶棒滾圓后的清洗、切片的脫膠與清洗、研磨片的清洗、拋光片的預(yù)清洗等工藝過程，同時包括了石英管清洗機、外延爐鐘罩清洗機等，為客戶提供襯底片加工過程的全線清洗工藝解決方案。各設(shè)備針對相應(yīng)的工藝特點，制定了適當(dāng)?shù)墓に囂幚聿酆颓逑垂に?，同時針對不同客戶，接受客戶的定制需求。
輔助設(shè)備系列-CDS供液系統(tǒng)
該設(shè)備為雙泵配置，自動切換，確保系統(tǒng)動力不斷，系統(tǒng)配置氣液分離裝置，有效去除桶空前后的氣泡，搭載與泵相匹配的阻尼器，有效抑制壓力波動，根據(jù)化學(xué)品介質(zhì)的不同配備適應(yīng)流量需求的過濾器，詳細參數(shù)可對應(yīng)選擇。系統(tǒng)供應(yīng)壓力數(shù)字化監(jiān)視,PLC&HMI可編程控制與人機界面，高效直觀操控，控制模塊化，可修改、可擴展、可接上位機遠程監(jiān)控，電氣材料均為國際知名品牌。
現(xiàn)場“大咖云集”共同交流
關(guān)于華林嘉業(yè)
北京華林嘉業(yè)科技有限公司（簡稱CGB)，公司總部位于中國北京亦莊國家經(jīng)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，制作基地位于河北省廊坊市香河機器人產(chǎn)業(yè)園。作為國內(nèi)高端濕法制程設(shè)備供應(yīng)商，CGB嚴格按照國際質(zhì)量管理體系標(biāo)準(zhǔn)進行全員、全方位、全過程的控制，并于2008年通過了ISO9001:2000質(zhì)量體系認證。2013年順利通過國家高新技術(shù)企業(yè)認定。
作為一家快速崛起的濕法制程設(shè)備制造商，CGB公司依托本地化制造基礎(chǔ)和便捷服務(wù)、國際化的經(jīng)營理念和人才團隊、先進的工藝試驗條件和暢通的零部件供應(yīng)渠道，致力于為相關(guān)領(lǐng)域企業(yè)提供先進的槽式、單片等設(shè)備及工藝的集成解決方案。
現(xiàn)場火爆，座無虛席，我司工作人員為到訪客戶做專業(yè)講解。
展會還在繼續(xù)中，期待您的到訪
我司展位號：E7-343
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