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一、全自動(dòng)ウェハ面取り機(jī)の利點(diǎn)

1.中央揃えの精度が高い

ウェハのセンターアライメント（centering）は、雄飛が獨(dú)自に設(shè)計(jì)した搬送アーム上で行われ、切削精度が飛躍的に向上し、その加工精度は±30μmであった。

中心位置合わせの精度が高いため、加工が完了すると、notchまたは位置決めエッジの正確な結(jié)晶方位を?qū)g現(xiàn)することができます。

2.消耗品の使用壽命が長い

センターアライメントの精度が高いため、加工時(shí)に除去量を制御でき、過度な切削はしない。そのため、砥石の摩耗度合いを減少させ、砥石の壽命を向上させ、砥石を交換するために停止する時(shí)間の長さを最大限に短縮することができる。

3.多収型

2つの加工軸を備え、獨(dú)立して制御できるため、1軸単獨(dú)で加工することもできる。単軸裝置に比べて、二軸裝置は加工効率を20%向上させることができる。

YH-8800基本仕様

二、全自動(dòng)モデル（Cassette to Cassette）

ウェハサイズ：φ6”?φ8”

ウェハ厚さ：0.25 mm～2.0 mm（加工可能な位置決めエッジおよびnotch）

加工軸數(shù)：2個(gè)（獨(dú)立制御）

砥石溝數(shù)：顧客要求に応じてカスタマイズ

砥石寸法：外徑φ200 mm內(nèi)徑φ30 mm（Notch部分：外徑3 mm）

砥石回転數(shù)：外周1000 mm～5000 m/min（周波數(shù)変換制御）

切削速度：円周1 mm～50 mm/sec位置決め辺1 mm～20 mm/sec

※各項(xiàng)目のパラメータ設(shè)定が可能

三、加工精度

直徑：≤±10μm

位置決めエッジ幅：≤±25μm

位置決めエッジ方向：≤±0.03°

直線性：≤5μm

円形度：≦10μm

面幅：±30μm以內(nèi)

四、寸法及び重量

サイズ：幅2400×奧行き1680×高さ1995（mm）

重量：約2000 kg

（設(shè)備の周囲に少なくとも50 cmの操作空間を殘しておくこと）

五、加工プロセス

シートカセットを置く→アームでシートを取る→厚さを測定する→アームでシートを取る→切削プラットフォームに移す→ウエハ中心を揃えて位置決めエッジの結(jié)晶方向を検出する→加工を開始する→アームでシートを取る→回転洗浄→アームでシートを取る→材料を落とす