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全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)
槽式濕法制程設(shè)備
特點(diǎn)：
生產(chǎn)主線為：H2O超聲槽1、界面活化劑槽2、H2O超聲槽3、界面活化劑槽4、H2O超聲槽5、HCL槽6、H2O超聲槽7，共7個(gè)制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口件，性能可靠，使用壽命長(zhǎng)；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺(tái)是一個(gè)人機(jī)界面（觸摸屏）加PLC控制的全自動(dòng)控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機(jī)械手將花籃輸送到各個(gè)工位，按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各工藝處理。
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品詳情：
項(xiàng)目 | 說(shuō)明 | ||
機(jī)臺(tái)數(shù)量 | 1臺(tái)（套）； | ||
機(jī)臺(tái)重量 | XX； | ||
清洗能力（采購(gòu)方提供cassette樣品） | 12inch ； 2 cassette / Batch 13 Pcs/cassette； | ||
產(chǎn)能要求 | / | ||
設(shè)備形式（潔凈度：千級(jí)潔凈室） | 室內(nèi)放置型； | ||
機(jī)臺(tái)封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 聚丙烯PP （）； | ||
阻燃聚丙烯PP （）； | |||
象牙白聚氯乙烯PVC （√）； | |||
SUS304單鏡面板材（）； | |||
機(jī)臺(tái)視窗 | 材質(zhì) | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC （√）； | |
模式 | 左右推拉式（√）； | ||
機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu) | 整體碳鋼、不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架（40*40 40*80）； | ||
防漏盤(pán) | 材質(zhì) | 聚丙烯PP板材； | |
模式 | 分體式 每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長(zhǎng)50mm； | ||
漏液檢測(cè)裝置 | 材質(zhì) | 防腐材質(zhì)； | |
點(diǎn)式 | 單點(diǎn)式； | ||
其它 | 水平調(diào)整 | 通過(guò)地腳調(diào)整設(shè)備水平； | |
設(shè)備移動(dòng) | 設(shè)備裝有樹(shù)脂腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用； | ||
臺(tái)面板 | 材質(zhì) | ￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) 象牙白聚氯乙烯PVC （√）； | |
相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經(jīng)過(guò)時(shí)漏液（√）； | |||
排風(fēng)系統(tǒng) | 排風(fēng)口位置 | 設(shè)備后頂部（√）； | |
排風(fēng)通道結(jié)構(gòu) | 1） 排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到更好的效果，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板； 2） 為了方便操作人員根據(jù)情況及時(shí)調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺(tái)排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺(tái)視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到更好的使用效果； 3） 設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過(guò)管道排放至機(jī)臺(tái)U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機(jī)臺(tái)后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)； | ||
機(jī)臺(tái)的電控系統(tǒng) | 安裝在機(jī)體的后部; 觸摸屏及電源控制開(kāi)關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。 | ||
工藝記錄儲(chǔ)存類型 | PLC+觸摸屏（簡(jiǎn)易） | 完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細(xì)記錄存儲(chǔ),便于采購(gòu)方對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控; 程序運(yùn)行記錄可定時(shí)存儲(chǔ)，存儲(chǔ)數(shù)據(jù)類型參考如下：程序號(hào)、操作者、槽體溫度、設(shè)定時(shí)間、運(yùn)行時(shí)間、報(bào)警信息等（待定）。PLC或觸摸屏具有USB接口，可讀出程序運(yùn)行記錄； | |
規(guī)格特點(diǎn)：
01）工藝說(shuō)明: 自動(dòng)傳動(dòng)，自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個(gè)過(guò)程全自動(dòng)進(jìn)行；
02）全程自動(dòng)化控制，工藝過(guò)程中沒(méi)有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
03）搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；
04）搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開(kāi)關(guān)、系統(tǒng)急停開(kāi)關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動(dòng)過(guò)載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
05）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
06）工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；
07）整機(jī)在使用、運(yùn)行過(guò)程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無(wú)溢出油污等，需潤(rùn)滑的零件必須密封處理；
08）整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過(guò)溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；
09）整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；
10）整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
11）機(jī)臺(tái)設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個(gè)），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；
12）整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，最低處設(shè)有漏液報(bào)警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時(shí)沖洗；
13）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識(shí)或防錯(cuò)設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；
14）設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染??；
15）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
16）工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無(wú)法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；
17) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；
18) 機(jī)臺(tái)上料下料區(qū)各配水***2把；
19）機(jī)臺(tái)排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
20）機(jī)臺(tái)總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
21)工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
22）機(jī)臺(tái)電器部分具備正壓N2保護(hù)，防止腐蝕；
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