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全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)
槽式濕法制程設(shè)備
特點(diǎn)：
生產(chǎn)主線為：上料臺(tái)、超聲循環(huán)溢流槽1、循環(huán)溢流槽槽2、循環(huán)溢流槽槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺(tái)，共5個(gè)制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口件，性能可靠，使用壽命長(zhǎng)；及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺(tái)是一個(gè)人機(jī)界面（觸摸屏）加PLC控制的自動(dòng)控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機(jī)械手將花籃輸送到各個(gè)工位，按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各工藝處理。
加工對(duì)象：藍(lán)寶石基底的GaN、砷化鎵基底的AlGaInP晶片和PSS襯底；
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品詳情：
項(xiàng)目 | 說明 | ||
機(jī)臺(tái)數(shù)量 | 1臺(tái)（套）； | ||
機(jī)臺(tái)重量 | XX； | ||
加工對(duì)象 | 藍(lán)寶石基底的GaN、砷化鎵基底的AlGaInP晶片和PSS襯底； | ||
清洗能力（采購(gòu)方提供cassette樣品） | 4 inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；6 inch 1 cassette / Batch 25 Pcs/cassette； | ||
產(chǎn)能要求 | 濕法制程清洗工藝XXXX Pcs /月（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時(shí)/天，26天/月計(jì)算，預(yù)估值）； | ||
設(shè)備形式（潔凈度：千級(jí)潔凈室） | 室內(nèi)放置型； | ||
機(jī)臺(tái)封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 聚丙烯磁白PP 10T（）； | ||
阻燃聚丙烯PP 10T （）； | |||
米黃色聚氯乙烯PVC 10T （）； | |||
SUS304單鏡面板材1.5T（√）； | |||
機(jī)臺(tái)視窗 | 材質(zhì) | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC 5T （√）； | |
SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃 5T（）； | |||
模式 | 上下舉升式（）； | ||
左右推拉式（√）； | |||
機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu) | 整體SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架； | ||
防漏盤 | 材質(zhì) | 聚丙烯磁白PP板材； | |
模式 | 分體式 每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長(zhǎng)50mm； | ||
漏液檢測(cè)裝置 | 材質(zhì) | 防腐材質(zhì)； | |
點(diǎn)式 | 單點(diǎn)式； | ||
其它 | 水平調(diào)整 | 通過地腳調(diào)整設(shè)備水平； | |
設(shè)備移動(dòng) | 設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用； | ||
臺(tái)面板 | 材質(zhì) | ￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) 聚丙烯磁白PP板材（）； | |
￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) SUS304單鏡面板材（√）； | |||
相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經(jīng)過時(shí)漏液（）； | |||
模式 | 可拆式（√）； | ||
一體式（）； | |||
排風(fēng)系統(tǒng) | 排風(fēng)口位置 | 設(shè)備后頂部（√）； | |
設(shè)備后下部（）； | |||
設(shè)備后部（）； | |||
排風(fēng)通道結(jié)構(gòu) | 1） 排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到更佳，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板； 2） 為了方便操作人員根據(jù)情況及時(shí)調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺(tái)排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺(tái)視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到更佳使用效果； 3） 設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機(jī)臺(tái)U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機(jī)臺(tái)后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)； | ||
機(jī)臺(tái)的電控系統(tǒng) | 安裝在機(jī)體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動(dòng)操作復(fù)位功能。每個(gè)機(jī)臺(tái)可存儲(chǔ)X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動(dòng)維護(hù)、自動(dòng)運(yùn)行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報(bào)警信息、歷史記錄、維護(hù)信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級(jí)加密進(jìn)入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限； | ||
工藝記錄儲(chǔ)存類型 | 工業(yè)掃碼槍+PLC+觸摸屏 | 使用程序時(shí)刷條碼確認(rèn)程序,完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細(xì)記錄存儲(chǔ),便于采購(gòu)方對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控; 程序運(yùn)行記錄可定時(shí)存儲(chǔ)，存儲(chǔ)數(shù)據(jù)類型參考如下：程序號(hào)、操作者、槽體溫度、設(shè)定時(shí)間、運(yùn)行時(shí)間、報(bào)警信息等（待定）。PLC或觸摸屏具有USB接口，可讀出程序運(yùn)行記錄； | |
規(guī)格特點(diǎn)：
01）工藝說明: 自動(dòng)傳動(dòng)，自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個(gè)過程全自動(dòng)進(jìn)行； 02）全程自動(dòng)化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
03）搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng)，幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；
04）搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動(dòng)過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
05）搬運(yùn)機(jī)械手運(yùn)行平穩(wěn)，帶有過載和過流保護(hù)，工藝槽發(fā)生異常報(bào)警需將工藝槽產(chǎn)品放置到溢流槽保護(hù)并立即啟動(dòng)報(bào)警（手臂故障需要立即發(fā)出報(bào)警并不可消除）；當(dāng)工裝出現(xiàn)意外情況時(shí)程序自動(dòng)將藥液排空注入DIW稀釋救貨；
06）工藝槽設(shè)有花籃物理檢測(cè)裝置，防止壓籃；
07）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
08）優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量；
09）工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；
10）整機(jī)在使用、運(yùn)行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤(rùn)滑的零件必須密封處理；
11）整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；
12）整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；
13）整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
14）機(jī)臺(tái)設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個(gè)），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；
15）整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，最低處設(shè)有漏液報(bào)警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時(shí)沖洗；
16）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識(shí)或防錯(cuò)設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；
17）設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染??；
18）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
19）廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
20）設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護(hù)區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入酸堿廢液總管；
21）工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；
22）搬運(yùn)機(jī)械手抓驅(qū)動(dòng)部分為電機(jī)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)完成指定動(dòng)作并配有傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),抓取部位設(shè)有防壓框傳感器,檢測(cè)抓取成功與否；
23）搬運(yùn)機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等），以保護(hù)操作人員安全；
24）工藝槽工作區(qū)域與機(jī)臺(tái)控制外配有安全監(jiān)測(cè)裝置，防止搬運(yùn)機(jī)械手對(duì)操作人員的意外損傷；
25) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；
26) 機(jī)臺(tái)上料下料區(qū)各配水***2把；
27）機(jī)臺(tái)排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
28）機(jī)臺(tái)總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
29）工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
30）根據(jù)工藝要求選擇配套UPS電源（15-20min）；
31) 排風(fēng)調(diào)節(jié)板根據(jù)風(fēng)壓可自動(dòng)調(diào)節(jié)；
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