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全自動(dòng)晶圓倒角機(jī)
單片濕法制程設(shè)備
特點(diǎn)：
生產(chǎn)主線為：該設(shè)備主要由濕法清洗工藝模塊+主軸旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)模塊、清洗臂掃描旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)模塊、N2吹干系統(tǒng)模塊、液體供應(yīng)系統(tǒng)模塊、空氣凈化（配帶離子風(fēng)機(jī)）及靜電去除系統(tǒng)模塊、安全消防系統(tǒng)模塊、電氣控制系統(tǒng)模塊等組成。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長(zhǎng)；頂部及背部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺(tái)是一個(gè)人機(jī)界面（觸摸屏）加PLC控制的半自動(dòng)控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗工件放置于濕法清洗單元模塊夾具上，按照事先輸入的程序?qū)ぜM(jìn)行各工藝處理。
清洗能力: 8 inch wafer；
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品詳情：
項(xiàng)目 | 說(shuō)明 | |
機(jī)臺(tái)型號(hào) | CGB-SSC-XX； | |
機(jī)臺(tái)重量 | XX | |
清洗能力（采購(gòu)方提供cassette樣品） | 8 inch wafer； | |
處理方式 | 單片處理 人工手動(dòng)取放片，干進(jìn)干出； | |
產(chǎn)能要求 | 濕法制程清洗工藝XXXX Pcs /月（按照＜30min/run，50PCS/Run，22小時(shí)/天，26天/月計(jì)算，預(yù)估值）； | |
設(shè)備形式（潔凈度：千級(jí)潔凈室） | 室內(nèi)放置型； | |
機(jī)臺(tái)封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 聚丙烯磁白PP 10T（）； | |
SUS304單鏡面板材1.5T（√）； | ||
機(jī)臺(tái)視窗 | 材質(zhì) | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC 5T （）； |
SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃 5T（√）； | ||
模式 | 上下舉升式（）； | |
左右推拉式（√）； | ||
機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu) | 整體SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架； | |
防漏盤(pán) | 材質(zhì) | 聚丙烯磁白PP板材； |
模式 | 分體式 每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長(zhǎng)50mm； | |
漏液檢測(cè)裝置 | 材質(zhì) | 防腐材質(zhì)； |
點(diǎn)式 | 單點(diǎn)式； | |
其它 | 水平調(diào)整 | 通過(guò)地腳調(diào)整設(shè)備水平； |
設(shè)備移動(dòng) | 設(shè)備裝有樹(shù)脂腳輪以備設(shè)備移動(dòng)之用； | |
臺(tái)面板 | 材質(zhì) | ￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) 聚丙烯磁白PP板材（√）； |
￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) SUS304單鏡面板材（）； | ||
模式 | 可拆式（√）； | |
一體式（）； | ||
排風(fēng)系統(tǒng) | 排風(fēng)口位置 | 設(shè)備后頂部（√）； |
設(shè)備后部（）； | ||
排風(fēng)通道結(jié)構(gòu) | 1） 排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到更佳，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板； 2） 為了方便操作人員根據(jù)情況及時(shí)調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺(tái)排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺(tái)視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到更佳使用效果； 3） 設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過(guò)管道排放至機(jī)臺(tái)U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機(jī)臺(tái)后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)； | |
機(jī)臺(tái)的電控系統(tǒng) | 安裝在機(jī)體的后部; 觸摸屏及電源控制開(kāi)關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過(guò)程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動(dòng)操作復(fù)位功能。每個(gè)機(jī)臺(tái)可存儲(chǔ)X套工藝配方，操作者可通過(guò)觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動(dòng)維護(hù)、自動(dòng)運(yùn)行、狀態(tài)監(jiān)控等畫(huà)面。軟件具有報(bào)警信息、歷史記錄、維護(hù)信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級(jí)加密進(jìn)入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限； | |
規(guī)格特點(diǎn)：
01）工藝說(shuō)明: 人工傳動(dòng)，手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)傳送工件；
02）全程自動(dòng)化控制，工藝過(guò)程中沒(méi)有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
03）旋轉(zhuǎn)主軸及掃描清洗臂旋轉(zhuǎn)輔軸移動(dòng)提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；
04）具有系統(tǒng)急停開(kāi)關(guān)和旋轉(zhuǎn)主軸馬達(dá)電機(jī)自動(dòng)過(guò)載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
05）旋轉(zhuǎn)主軸及掃描清洗臂旋轉(zhuǎn)輔軸運(yùn)行平穩(wěn)，帶有過(guò)載和過(guò)流保護(hù)；
06）優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約藥液消耗量；
07）工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；
08）多工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；
09）整機(jī)在使用、運(yùn)行過(guò)程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無(wú)溢出油污等，需潤(rùn)滑的零件必須密封處理，定期更換潤(rùn)滑油；
10）整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行且操作、維護(hù)和維修方便；
11）整機(jī)耐腐蝕溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
12）機(jī)臺(tái)設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；
13）整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，最低處設(shè)有漏液報(bào)警，區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時(shí)沖洗；
14）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識(shí)或防錯(cuò)設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；
15）設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使腐蝕液揮發(fā)氣體的污染小化；
16）各種工藝參數(shù)超限、非正常加工處理?xiàng)l件、非正常操作、缺液、滿液等異常檢測(cè)告警系統(tǒng)和安全保護(hù)裝置；
17）生產(chǎn)日志、故障日志等記錄可定制保存時(shí)間，長(zhǎng)期保持備查；操作簡(jiǎn)單友好；工藝參數(shù)數(shù)顯檢測(cè)、報(bào)警控制分等級(jí)、嚴(yán)重緊急情況、超限等；故障提示導(dǎo)尋，故障原因明顯易查；
18）軟件系統(tǒng)采用多層級(jí)、多進(jìn)程、單元模塊化設(shè)計(jì)，單一單元模塊故障不影響其他單元模塊工藝加工；
19）DIW槍及N2槍各1套；
20）機(jī)臺(tái)總進(jìn)水口處安裝水阻計(jì)監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置），并加裝0.2us過(guò)濾器；
21）機(jī)臺(tái)總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測(cè)裝置（帶信號(hào)報(bào)警裝置）；
22）機(jī)臺(tái)頂部配有10級(jí)FFU；
23）機(jī)臺(tái)頂部配有靜電消除裝置；
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