單片濕法制程設備
特點：
掩膜版清洗機是一臺整機主要由設備外殼、清洗工位、排風系統(tǒng)、電控系統(tǒng)等組成。包含腐蝕清洗腔控制單元、藥液供給與補充系統(tǒng)、藥液排放與回收系統(tǒng)、電機控制器等單元；機臺具有運行、工藝參數(shù)設置、維護及報警查詢等功能，能顯示當前的工藝程序號、工藝步驟、當前旋轉(zhuǎn)速度、清洗時間等參數(shù)；系統(tǒng)還具有報警信息、維護信息等系統(tǒng)記錄；設備臺面右側(cè)配置水、氮***功等輔助功能；
清洗能力: 8（12）inch 1 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；
產(chǎn)能要求: 濕法制程清洗工藝XXXX Pcs /月（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計算，預估值）；
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品詳情：
全中文操作界面,人工手動將掩膜版安放至腐蝕清洗腔旋轉(zhuǎn)主軸支架（5寸7寸兼容）卡盤上,工藝時間為15 min /批或30min/批,工藝時間可調(diào)；
確認防護隔離門及設備操作門到位后啟動起始按鈕，執(zhí)行設定好的操作流程，清洗臂A旋轉(zhuǎn)搬運至掩膜版正上方后（與清洗腔內(nèi)下方的噴管同步完成或獨立完成動作）執(zhí)行設定動作；首先噴灑酸液（時間可設定，掃描路徑可設定），再噴灑堿液（時間可設定，掃描路徑可設定），再噴灑DI（時間可設定，掃描路徑可設定），清洗臂A根據(jù)工藝流程回旋至原點位置等待；
刷洗臂B隨即旋轉(zhuǎn)搬運至掩膜版正上方后（與清洗腔內(nèi)下方的噴管同步完成或獨立完成動作）開始刷洗動作（時間可設定，掃描路徑可設定），完成設定動作后恢復至原點位置等待；
N2噴淋管啟動同時配合腐蝕清洗腔旋轉(zhuǎn)主軸高速旋轉(zhuǎn)完成干燥工藝步驟；
全部清洗工藝動作完成后旋轉(zhuǎn)主軸停機等待并報警提示；
規(guī)格特點：
項目 | 說明 | ||
機臺型號 | CGB-MC-XX； | ||
機臺重量 | XX； | ||
清洗能力 | 5 inch 7 inch 標準掩膜版（光刻版/光罩）； | ||
處理方式 | 單片處理 人工手動取放片； | ||
設備形式 | 室內(nèi)放置型（潔凈度：千級潔凈室） | ||
機臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 聚丙烯磁白PP 10T； | ||
機臺視窗 | 材質(zhì) | 透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC 5T； | |
左右推拉式； | |||
機臺主機強度結(jié)構(gòu) | 整體SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架； | ||
防漏盤 | 材質(zhì) | 聚丙烯磁白PP板材； | |
模式 | 分體式 每側(cè)尺寸比設備本體長50mm； | ||
其它 | 水平調(diào)整 | 通過地腳調(diào)整設備水平； | |
設備移動 | 設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用； | ||
臺面板結(jié)構(gòu) | ￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) PP板材； | ||
漏液檢測裝置 | 防腐材質(zhì)；單點式； | ||
模式 | 可拆式； | ||
排風系統(tǒng) | 排風口位置 | 設備后頂部； | |
排風通道結(jié)構(gòu) | 排風強勁合理設計，為了排風效果達到更佳，排風通道內(nèi)設有風量導流板； 為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機臺排風背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風柵欄再配合機臺視窗上的可調(diào)進氣模塊使用達到更佳使用效果； 設備排風通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區(qū)內(nèi)并排放至機臺后方廠務廢水專用管道內(nèi)； | ||
功能 | 可以將清洗工藝過程中產(chǎn)生的氣體、氣味排走。 | ||
機臺的電控系統(tǒng) | 安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關、照明等安裝在設備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設備具有上電手動操作復位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調(diào)用預先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設定、手動維護、自動運行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級加密進入權限設置：分別為設備作業(yè)員、設備工程師、工藝工程師，不可混用權限； | ||
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