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槽式濕法制程設(shè)備

全自動(dòng)槽式清洗機(jī)

全自動(dòng)槽式清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于集成電路、MEMS和光伏領(lǐng)域的CMP后清洗工藝。該清洗機(jī)可對(duì)晶圓片表面、背面、邊緣進(jìn)行清潔。本機(jī)臺(tái)是IPC工業(yè)電腦加PLC控制的全自動(dòng)控制系統(tǒng)。通過(guò)RCA清洗工藝的控制,超兆聲波的匹配應(yīng)用,多組機(jī)械手系統(tǒng)的傳遞,實(shí)現(xiàn)“干進(jìn)干出”的晶片清洗功能,減少了人為因素對(duì)清洗過(guò)程的干擾,滿(mǎn)足晶片的表面顆粒度和表面金屬殘留目標(biāo)要求。

產(chǎn)品詳情


1. 適用場(chǎng)景

研磨、刻蝕、返工后等集成電路制造工藝的最終清洗

2. 工作原理

1) 自動(dòng)槽式清洗機(jī)的工作原理主要是利用超聲波在液體中的空化作用,?通過(guò)高頻振動(dòng)產(chǎn)生強(qiáng)大的沖擊波,?對(duì)物體表面進(jìn)行深度清洗。?

2) 全自動(dòng)槽式清洗機(jī),?尤其是超聲波清洗機(jī),?利用超聲波在液體中產(chǎn)生的空化作用,?這種作用能夠在液體內(nèi)部形成微小的氣泡。?當(dāng)這些氣泡在瞬間破裂時(shí),?會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)大的沖擊力,?對(duì)物體表面進(jìn)行深度清潔。?此外,?超聲波的振動(dòng)還能加速清洗液的流動(dòng),?對(duì)物體表面進(jìn)行全面的沖洗,?從而達(dá)到高效清洗的目的。?這種清洗方式相比傳統(tǒng)方法,?具有清洗效果好、?效率高、?環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)。?

3) 全自動(dòng)槽式清洗機(jī)通常由超聲波發(fā)生器、?換能器、?清洗槽、?清洗液循環(huán)系統(tǒng)等部分組成。?其中,?雙槽設(shè)計(jì)是其最大的特點(diǎn),?可以同時(shí)對(duì)不同種類(lèi)的物品進(jìn)行清洗,?進(jìn)一步提高工作效率。?此外,?全自動(dòng)槽式清洗機(jī)還采用了全密封結(jié)構(gòu),?通過(guò)高效空氣過(guò)濾器吹入潔凈的空氣,?同時(shí)采用細(xì)管路抽風(fēng),?使清洗機(jī)相對(duì)室內(nèi)環(huán)境形成正壓,?防止外界灰塵等雜質(zhì)進(jìn)入,?確保清洗質(zhì)量。?

4) 全自動(dòng)槽式清洗機(jī)的控制方式也實(shí)現(xiàn)了高度自動(dòng)化,?通過(guò)可編程序控制器(PLC)與觸摸屏控制,?實(shí)現(xiàn)了從進(jìn)料到出料的全程自動(dòng)化操作。?操作人員可以通過(guò)觸摸屏方便地輸入所需的工藝程序,?并實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),?保證了產(chǎn)品清洗質(zhì)量的穩(wěn)定性和操作的便捷性

3. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、設(shè)備實(shí)現(xiàn)自動(dòng)作業(yè),自動(dòng)過(guò)程控制工藝、干燥作業(yè)的濕法工藝解決方案
2、設(shè)備可依據(jù)客戶(hù)工藝需求設(shè)計(jì)對(duì)應(yīng)模塊;主要由上下料口、機(jī)械臂、SPM/SC1/SC2等組成;
3、SC1槽可根據(jù)客戶(hù)要求定制不同頻率的超聲/兆聲
4、具備IPA Dry、Spin Dry選擇
5、可支持多批次清洗提升產(chǎn)量
6、化學(xué)槽支持自動(dòng)換液、補(bǔ)液及定時(shí)/定量補(bǔ)液,自動(dòng)洗槽功能
7、可根據(jù)不同廠(chǎng)務(wù)要求制定不同種類(lèi)的排放方案
8、良好的設(shè)備穩(wěn)定性和可靠性;
9、有效控制金屬、材料及微粒子的交叉污染
10、軟件和硬件的模塊化設(shè)計(jì)
11、軟硬件預(yù)留MES通訊接口
12、實(shí)時(shí)記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù),多種數(shù)據(jù)分析功能
13、選配SECS/GEM接口;
14、可實(shí)現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯,具有過(guò)點(diǎn)信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能

4. 設(shè)備特點(diǎn)

視窗為雙層設(shè)計(jì),操作安全

設(shè)備占地面積小

噴淋裝置噴淋均勻                                    

加熱材料高純無(wú)污染,in-line加熱

有限控制金屬、材料及微粒子的交叉                           

溫度自動(dòng)校準(zhǔn)

軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全                          

支持SMIF自動(dòng)傳輸

實(shí)時(shí)記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù),多種數(shù)據(jù)分析功能                          

軟件支持GEM/SECS接口,提供PAP MES等功能

工藝柔性化設(shè)計(jì),工藝更改方便迅速                           

優(yōu)化配管設(shè)置,節(jié)約DIW消耗量

藥液濃度實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)                                        

多工藝數(shù)據(jù)庫(kù),可供用戶(hù)適用和儲(chǔ)存

槽體流場(chǎng)控制技術(shù)                                           

高效藥液回收系統(tǒng)

Maragoni Dryer 低破片率,高潔凈度                         

較潔凈藥液回收利用,節(jié)約藥液使用

易燃化學(xué)品安全穩(wěn)定加熱系統(tǒng)                                 

易燃化學(xué)品搭載消防系統(tǒng)及切斷排風(fēng)系統(tǒng),符合消防安全

自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)                                      

系統(tǒng)自動(dòng)排程,多工位并發(fā)處理,高效率運(yùn)行

擁有多項(xiàng)軟件著作權(quán)                                         

工藝預(yù)置,過(guò)程數(shù)據(jù)記錄和生產(chǎn)管理

PC上位機(jī)和PLC觸摸屏的控制和人機(jī)交互界面

 

5. 安裝及售后

1) 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗(yàn)、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶(hù)工廠(chǎng)現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試設(shè)備。

2) 為用戶(hù)工廠(chǎng)操作工提供培訓(xùn),培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問(wèn)題的分析和緊急處理程序。

3) 無(wú)償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù),一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi),提供7*24小時(shí)內(nèi)電話(huà)支持服務(wù),24小時(shí)到現(xiàn)場(chǎng)反應(yīng)時(shí)間。保修期外保證在接到客戶(hù)請(qǐng)求維修服務(wù)后24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。

4) 可提供隨機(jī)備件、易損品及隨機(jī)工具。