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產(chǎn)品中心

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槽式濕法制程設(shè)備

全自動碳化硅外延最終清洗機

全自動碳化硅外延最終清洗機是一種專門用于碳化硅(?SiC)?外延晶片的清洗設(shè)備,?它采用了高穩(wěn)定氣體流場、?壓力場控制、?感應(yīng)加熱、?反應(yīng)腔整機系統(tǒng)設(shè)計方案,?結(jié)合自主開發(fā)的原位監(jiān)控技術(shù)、?在線清洗技術(shù)以及涂層材料和工藝,?實現(xiàn)了SiC外延的快速、?高質(zhì)量生長。?此外,?該設(shè)備還提高了運行的可靠性和穩(wěn)定性,?確保了清洗過程的效率和品質(zhì)。?

該清洗機適用于處理各種尺寸的碳化硅晶片,?包括但不限于2-8英寸的碳化硅晶片,?能夠滿足半導體產(chǎn)業(yè)中對高純度、?高質(zhì)量的清洗需求。?設(shè)備采用機械臂式設(shè)計,?具有5個槽位,?適用于半導體、?光伏等領(lǐng)域的應(yīng)用。?控制模式包括手動和自動兩種方式,?以適應(yīng)不同的操作需求。?


產(chǎn)品詳情

1. 工作原理

全自動碳化硅外延最終清洗機是一種高效設(shè)備,?用于清潔碳化硅材料,?其工作原理包括物理清洗和化學清洗。?物理清洗主要通過拋光頭的高頻振動和流體動力學的沖擊作用,?去除碳化硅表面的雜質(zhì)。?化學清洗則是利用特定的清洗劑與碳化硅表面雜質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng),?將其溶解于清洗液中。?這種清洗方式不僅提高了碳化硅的清潔度,?還改善了后續(xù)工序的生產(chǎn)環(huán)境,?同時增強了碳化硅與結(jié)合劑的結(jié)合強度,?從而提高了產(chǎn)品的各項性能指標。

2. 工作流程

生產(chǎn)主線為: Load,藥液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload,共X個制程工位, 設(shè)置為6” *1 cassette晶舟上貨,將晶舟置于Robot上貨區(qū)位置,按下『啟動鍵』,Robot將自動以夾持方式移至制程槽進行預設(shè)之制程,完成設(shè)備本身設(shè)定之流程,達成一貫性自動控制的功能。本設(shè)備電控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件,性能可靠,使用壽命長;及背部設(shè)有吸風口,為防止污染空氣,用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面(觸摸屏)加PLC控制的自動控制系統(tǒng),操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上,再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位, ?按照事先輸入的程序?qū)M行各工藝處理。

3. 清洗能力

6inch     1cassette   / Batch    25 Pcs/cassette;

4. 產(chǎn)品優(yōu)勢

1) 高效清洗:?通過高穩(wěn)定氣體流場和壓力場控制,?實現(xiàn)了對碳化硅晶片的快速且高效的清洗。?

2) 高質(zhì)量生長:?結(jié)合感應(yīng)加熱和反應(yīng)腔整機系統(tǒng)設(shè)計,?以及自主開發(fā)的原位監(jiān)控技術(shù)和在線清洗技術(shù),?保證了外延生長的高質(zhì)量。?

3) 可靠性與穩(wěn)定性:?通過優(yōu)化涂層材料和工藝,?提高了設(shè)備的運行可靠性和穩(wěn)定性。?

4) 適用范圍廣:?能夠處理2-8英寸的碳化硅晶片,?滿足不同尺寸的需求。?

5) 安全與操作簡便:?設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊且安全,?采用工控機控制,自動化程度高,?操作簡便,?同時可以根據(jù)用戶需求提供個性化解決方案。

5. 產(chǎn)品特點

01)溢流工藝的應(yīng)用,保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度;
02)優(yōu)化配管設(shè)置,節(jié)約DIW消耗量;
03)工藝柔性化設(shè)計,工藝更改方便迅速;多工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲;
04)整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等,需潤滑的零件必須密封處理;
05)整機采用PLC控制,IPC顯示,清洗槽定溫控制,過溫保護及超(兆)聲低液位保護;
06)整機采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便;
07)整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕,電器元件正常安全使用;
08)機臺設(shè)有緊急停止回路(EMO急停按鈕,設(shè)備兩端各一個),并按照標準設(shè)置接地保護斷路器;
09)整機前后區(qū)隔離,底板傾斜設(shè)計,便于排液,處設(shè)有漏液報警,前后區(qū)域均設(shè)水槍,確保漏液及時沖洗;
10)清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設(shè)計,防止溶劑混用;
11)設(shè)計合理化的排風管路,使有機液揮發(fā)氣體的污染最小化;
12)設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部;
13)廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放;
14)設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護區(qū)水槍清洗,清洗廢液流入有機、酸堿廢液總管;
15)工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式,需采用四面溢流;如果無法實現(xiàn),至少需要三面溢流;
16)  設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護、維修的窗口;
17)機臺排風口處安裝排風壓力監(jiān)測裝置(帶信號報警裝置);
18)機臺總進口處(N2或CDA)安裝有壓力監(jiān)測裝置(帶信號報警裝置);
19)工藝槽槽體傾斜式,便于排空;
20)機臺電器部分具備正壓N2保護,防止腐蝕;
21)溢流:IDLE TIME>SET TIME,溢流停止,達到節(jié)能目的;
22)廢液排放,每個工藝槽采用獨立排放管道,對應(yīng)QDR也采用獨立排放口;
23)排風,工藝腔內(nèi)每個工藝槽對應(yīng)位置都有可調(diào)節(jié)的柵格排風結(jié)構(gòu);
24)換液提醒功能,所有制程能根據(jù)配液時間或運行批次數(shù)量通知換酸;
25)工藝結(jié)束可以設(shè)置預先報警功能,預報警聲音和實際報警聲音要有所區(qū)分;
26)工藝說明: 自動傳動,自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件,手臂按照菜單選擇流程作業(yè),生產(chǎn)部人員選取菜單進行作業(yè),這個過程全自動進行;
27)全程自動化控制,工藝過程中沒有人工干預,保證產(chǎn)品性能的一致性;
28)搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達,閉環(huán)控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用雙導軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動,幾何曲線加減速運動,沖擊小、運動平穩(wěn);
29)搬運機械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護,確保操作者的安全;
30)搬運機械手臂設(shè)有防夾防撞預警裝置(光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等),以保護操作人員安全;
31)上下料方向:左進右出,花籃水平放置;
32)顆粒指標,尺寸大于XX μm的顆粒,密度不超過XX個/cm2;
33)目前金屬離子殘留測試,包括XX種元素:------,每一種金屬元素殘留指標均要求

6. 安裝及售后

1) 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設(shè)備。

2) 為用戶工廠操作工提供培訓,培訓包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。

3) 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù),一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi),提供7*24小時內(nèi)電話支持服務(wù),24小時到現(xiàn)場反應(yīng)時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務(wù)后24小時內(nèi)到達現(xiàn)場。

4) 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。