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1. 工作原理

該設(shè)備主要由酸洗、純水漂洗、超聲漂洗等工藝組成，其工作原理是利用酸混合液對返工片等表面進(jìn)行腐蝕，去除其表面的氮化硅、顆料雜質(zhì)等。然后再經(jīng)水洗，超聲清洗等工序去除其表面殘酸。設(shè)備電氣控制部分關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口件，性能可靠，使用壽命長。為防止酸液泄露，設(shè)備底部設(shè)有接液盤、漏液報警裝置。

2. 工作流程

生產(chǎn)主線為：石英加熱槽1、QDR槽2、PVDF槽3、QDR槽4、NPP槽5、NPP槽6，QDR槽7,IPA干燥槽8，共8個制程工位。本設(shè)備電氣控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及上部設(shè)有吸風(fēng)口，為防止污染空氣，用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺是一個人機(jī)界面（觸摸屏）加PLC控制的自動控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上，再由PLC控制機(jī)械手將花籃輸送到各個工位， ?按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各工藝處理。

3. 產(chǎn)品優(yōu)勢

1) 高效產(chǎn)能：?能夠處理大量的返工片。?

2) 低碎片率：?具有先進(jìn)的機(jī)械臂分配系統(tǒng)，?有效避免藥液交叉污染和反應(yīng)超時，?保證碎片率極低。?

3) 自動化操作：?設(shè)備具備自動化的操作系統(tǒng)，?能夠自動調(diào)節(jié)顯影和定影溫度，?自動補(bǔ)充顯影液和定影液，?減少人工干預(yù)，?提高生產(chǎn)效率。?

4) 智能機(jī)器功能：?集成智能機(jī)器功能，?如能源消耗統(tǒng)計分析，?確保資源的高效利用和成本的優(yōu)化。?

5) 兼容性：?兼容MES和RFID功能，?便于生產(chǎn)數(shù)據(jù)的追蹤和管理。?

6) 優(yōu)化材料使用：?所有與液體接觸的材料都經(jīng)過優(yōu)化升級，?避免材料雜質(zhì)析出，?保證清洗質(zhì)量。

4. 清洗能力

8inch 1 cassette/Batch 25Pcs/cassette;12inch 1cassette/Batch 25 Pcs/cassette;

5. 產(chǎn)品特點(diǎn)

01）工藝說明: 自動傳動，自動方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個過程全自動進(jìn)行；
02）全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
03）搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運(yùn)動，沖擊小、運(yùn)動平穩(wěn)；
04）搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全； 
05）工藝槽設(shè)有花籃物理檢測裝置，防止壓籃；
06）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
07）工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；
08）整機(jī)在使用、運(yùn)行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
09）整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；
10）整機(jī)采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；
11）整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
12）機(jī)臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；
13）整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計，便于排液，處設(shè)有漏液報警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時沖洗；
14）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計，防止溶劑混用；
15）設(shè)計合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；
16）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
17）廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放；
18）設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護(hù)區(qū)水槍清洗，清洗廢液流入酸堿廢液總管；
19）工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；
20）搬運(yùn)機(jī)械手抓驅(qū)動部分為電機(jī)馬達(dá)驅(qū)動完成動作并配有傳感器實(shí)時監(jiān)測,抓取部位設(shè)有防壓框傳感器,檢測抓取成功與否；
21）搬運(yùn)機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等），以保護(hù)操作人員安全；
22)  設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；
23)  機(jī)臺上料下料區(qū)各配水***2把；
24）機(jī)臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
25）機(jī)臺總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
26）工藝槽槽底傾斜式，便于排空；

6. 安裝及售后

1) 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗(yàn)、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設(shè)備。

2) 為用戶工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。

3) 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時到現(xiàn)場反應(yīng)時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務(wù)后24小時內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場。

4) 可提供隨機(jī)備件、易損品及隨機(jī)工具。