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天芯微半導(dǎo)體首臺先進(jìn)制程硅基外延設(shè)備在無錫高新區(qū)首發(fā)

發(fā)布時間:2022-08-12發(fā)布人:


天芯微半導(dǎo)體首臺先進(jìn)制程硅基外延設(shè)備在無錫高新區(qū)首發(fā)


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“無錫高新區(qū)在線”消息 8月8日上午,天芯微半導(dǎo)體首臺先進(jìn)制程硅基外延設(shè)備首發(fā)儀式在無錫高新區(qū)舉行。

天芯微此次發(fā)布的Epi 300 Compass AP硅基外延減壓設(shè)備是半導(dǎo)體前道工藝中的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于功率器件、28nm及以下先進(jìn)制程的邏輯、存儲器件的生產(chǎn)制造。Epi 300 Compass AP的各項(xiàng)性能均達(dá)到了國際先進(jìn)水平,部分核心性能已經(jīng)超過國際同類產(chǎn)品,并得到了客戶的肯定。

江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是先導(dǎo)集團(tuán)旗下的一家集成電路高端裝備制造商,公司核心團(tuán)隊(duì)來自全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備公司,擁有25年的先進(jìn)半導(dǎo)體裝備研發(fā)、制造經(jīng)驗(yàn)。公司以硅基外延技術(shù)為核心,致力于半導(dǎo)體前道關(guān)鍵工藝設(shè)備的研發(fā)與制造,為集成電路行業(yè)提供極具競爭力的高端設(shè)備和高品質(zhì)的服務(wù)。



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