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高效可靠的“利刃” - 開(kāi)拓半導(dǎo)體創(chuàng)新及良率提升的“芯”征途
隨著國(guó)內(nèi)新能源汽車(chē)及顯示行業(yè)的自主研發(fā)不斷蓬勃發(fā)展，良率控制及新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需求日趨漸長(zhǎng)。TEM可以在原子尺度對(duì)器件進(jìn)行觀察和檢測(cè)，在過(guò)程控制和新品研發(fā)中起著至關(guān)重要的作用。
制造具有統(tǒng)一尺寸的納米結(jié)構(gòu)和架構(gòu)對(duì)于開(kāi)發(fā)功能性半導(dǎo)體器件是非常理想的。隨著這些器件縮小，需要使用新型材料制造新設(shè)計(jì)和更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，以應(yīng)對(duì)相應(yīng)的挑戰(zhàn)。為此，必須使用高靈敏度和先進(jìn)的分析工具來(lái)檢測(cè)在這些更先進(jìn)結(jié)構(gòu)中可能影響良率或性能的極輕微電氣問(wèn)題。
透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,簡(jiǎn)稱(chēng)TEM)可以為器件關(guān)鍵尺寸管控及失效分析提供原子級(jí)別的微觀細(xì)節(jié)及高效數(shù)據(jù)采集。新型半導(dǎo)體器件制造需要高準(zhǔn)確度成像和故障分析，以產(chǎn)生改進(jìn)和優(yōu)化的制造工作流程。這些復(fù)雜的分析流程通常要求所使用的TEM產(chǎn)品具備高效率的自動(dòng)化功能，極易使用的用戶界面，極低的圖像失真率，以及其他快速的表征能力，例如高速EDS能譜采集。這些都推動(dòng)TEM成為半導(dǎo)體器件研發(fā)，良率提升，以及失效分析階段必不可少的工具之一。
