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華林嘉業(yè)將參加無錫第十一屆(2023 年)半導(dǎo)體設(shè)備材料與核心部件展示會(CSEAC)

發(fā)布時間:2023-08-08發(fā)布人:

      第十一屆(2023年)半導(dǎo)體設(shè)備材料與核心部件展示會即將于 2023 年 8 月 9 - 11 日在無錫太湖國際博覽中心召開,我司展位號A3館 A3-A218,歡迎各界同仁蒞臨展位。

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北京華林嘉業(yè)科技有限公司(簡稱CGB),公司總部位于北京亦莊國家經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),制造基地位于河北省廊坊市香河機(jī)器人產(chǎn)業(yè)園。作為國內(nèi)高端濕法制程設(shè)備供應(yīng)商,CGB嚴(yán)格按照國際質(zhì)量管理體系標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全員、全方位、全過程的控制,并于2008年通過了ISO9001:2000質(zhì)量體系認(rèn)證,2013年順利通過國家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定。

公司主要從事半導(dǎo)體、新材料等領(lǐng)域濕法制程設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域:大規(guī)格集成電路(IC)、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、硅材料(SI)、化合物半導(dǎo)體(Compound Semi)、光通信器件(Optical Information Devices)、功率器件(Power Devices)、半導(dǎo)體照明(LED)、先進(jìn)封裝(Advanced Packaging)、光伏電池(Photovoltaic)、平板顯示(FPD)、備品備件(Parts)、科研設(shè)備(R&D Equipment)等。


典型設(shè)備介紹

全自動最終清洗機(jī) CGB-WB150系列

l *全自動最終清洗機(jī)介紹:

     該系列設(shè)備為我公司開發(fā)的專利產(chǎn)品,涵蓋了全部的RCA清洗技術(shù),通過合理有效地藥液槽布局排列,結(jié)合超聲(兆聲)技術(shù),專業(yè)應(yīng)用于SiC襯底和SiC外延片最終清洗,通過自主開發(fā)的控制軟件,有效地將多ROBOT運(yùn)動軌跡,與清洗工藝有機(jī)結(jié)合,避免了交叉污染,保證了清洗工藝的順利實(shí)施。集成在線的甩干機(jī)或Marangoni dryer單元,保證了晶片干進(jìn)干出,便于晶片進(jìn)入下一工序。

本設(shè)備具備完善的安全防護(hù)設(shè)施,配備了10級FFU,用于十級或百級凈化間。整個清洗過程,不需要人為干預(yù)。采用本設(shè)備清洗后的6英寸SiC晶片,表面顆粒達(dá)到<30顆/片@0.3微米,表面金屬雜質(zhì)殘留<5E10(16種金屬離子),完全滿足SiC器件工藝對表面的技術(shù)要求。


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過程清洗機(jī)系列介紹:

      該系列設(shè)備涵蓋Si/SiC襯底片加工全過程的清洗工藝,包括晶棒滾圓后的清洗、切片的脫膠與清洗、研磨片的清洗、拋光片的預(yù)清洗等工藝過程,同時包括了石英管清洗機(jī)、外延爐鐘罩清洗機(jī)等,為客戶提供襯底片加工過程的全線清洗工藝解決方案。各設(shè)備針對相應(yīng)的工藝特點(diǎn),制定了適當(dāng)?shù)墓に囂幚聿酆颓逑垂に嚕瑫r針對不同客戶,接受客戶的定制需求。


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服務(wù)熱線/Service: 400-650-7658       86-13910297918

郵箱/Email sales@cgbtek.com

公司網(wǎng)站/Website: http://shenjingke.com.cn

生產(chǎn)基地/Address: 河北省廊坊市香河機(jī)器人產(chǎn)業(yè)園3A