這家SiC企業(yè)也擴(kuò)產(chǎn)！6英寸、6萬片
這家SiC企業(yè)也擴(kuò)產(chǎn)！6英寸、6萬片
來源 第三代半導(dǎo)體風(fēng)向
昨天，“三代半風(fēng)向”獲得一份招標(biāo)書，其中顯示，河北將建一個(gè)6英寸碳化硅外延片生產(chǎn)基地，投資額約1.8億元，年產(chǎn)能6萬片。
碳化硅外延擴(kuò)建年產(chǎn)能6萬片
8月12日，河北普興電子科技股份有限公司公布了“搬遷項(xiàng)目監(jiān)理公開招標(biāo)公告”，招標(biāo)金額210萬元。
公告提到，該項(xiàng)目將建設(shè)“6英寸碳化硅外延以及8英寸硅外延生產(chǎn)基地”，總建筑面積約為63915.23㎡，投資總額1.8億元，項(xiàng)目已由河北石家莊鹿泉經(jīng)開區(qū)批準(zhǔn)建設(shè)。
另一份招標(biāo)信息顯示，普興電子計(jì)劃對現(xiàn)有碳化硅外延生產(chǎn)線進(jìn)行升級改造，建設(shè)一條6英寸碳化硅外延片批量生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)6英寸碳化硅外延片6萬片的生產(chǎn)能力，將采購主要生產(chǎn)設(shè)備碳化硅外延爐15臺及配套測試儀器等。
據(jù)介紹，普興電子是中國電子科技集團(tuán)第13研究所的控股公司，從1963年開始進(jìn)行半導(dǎo)體硅基外延材料的技術(shù)研究，年產(chǎn)各種硅基外延片600多萬片，是國內(nèi)最大的硅基外延材料供應(yīng)商。
在碳化硅方面，據(jù)介紹，2018年普興電子就搭建了碳化硅外延生產(chǎn)和測試平臺，2019年率先在河北省實(shí)現(xiàn)6英寸碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)化，2020年開發(fā)了快速碳化硅外延生長工藝，單臺設(shè)備產(chǎn)能提高20%以上。
備案信息顯示，2020年普興電子就在著手加快碳化硅外延產(chǎn)業(yè)化。
此前，普興電子還打算介入碳化硅單晶生長領(lǐng)域，計(jì)劃發(fā)展成為從碳化硅單晶生長、碳化硅外延片直至芯片加工的全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)企業(yè)，例如2017年5月23日，普興電子的“碳化硅單晶產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”備案獲得批復(fù)。
不過，據(jù)“三代半風(fēng)向”了解，出于資源優(yōu)化考慮，中電科集團(tuán)對普興的碳化硅單晶項(xiàng)目進(jìn)行了調(diào)整，讓普興電子專注碳化硅外延，而碳化硅單晶和碳化硅芯片將由集團(tuán)其他子公司專門負(fù)責(zé)。
中電科的全產(chǎn)業(yè)鏈布局
據(jù)“三代半風(fēng)向”調(diào)研了解，中電科集團(tuán)已經(jīng)完成了碳化硅的全產(chǎn)業(yè)鏈布局，其相關(guān)子公司已經(jīng)在設(shè)備、襯底、外延、器件等環(huán)節(jié)建樹頗多。
碳化硅襯底方面，他們主要依托于山西爍科晶體。
據(jù)介紹，2018年，中電科就在山西簽約布局碳化硅項(xiàng)目；2019年4月，中國電科（山西）碳化硅產(chǎn)業(yè)基地一期項(xiàng)目于開工建設(shè)，實(shí)施主體就是爍科晶體。2020年2月底，一期項(xiàng)目正式投產(chǎn)，300臺設(shè)備同時(shí)啟動(dòng)，月產(chǎn)1200塊碳化硅單晶。
據(jù)《山西日報(bào)》4月15日報(bào)道，2020年，山西爍科晶體碳化硅襯底年產(chǎn)能已達(dá)10萬片，銷售3萬片以上。
中電科集團(tuán)還有多個(gè)子公司涉及碳化硅器件領(lǐng)域，其中包括中電科13所。
2018年6月13日，中電科13所的“碳化硅電力電子器件芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”獲得了石家莊高新區(qū)備案批復(fù)。
而碳化硅封裝則是同輝電子負(fù)責(zé)。據(jù)介紹，同輝電子成立于2007年，與普興電子同屬于中電科13所控股企業(yè)。
2020年，同輝電子的“碳化硅封裝線”項(xiàng)目已經(jīng)竣工投產(chǎn)。在此之前，同輝電子還有多個(gè)碳化硅項(xiàng)目備案：
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