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北京華林嘉業(yè)高端定制款最終清洗機(jī)順利交付出廠

發(fā)布時(shí)間:2023-06-07發(fā)布人:

6月7日北京華林嘉業(yè)科技有限公司(簡(jiǎn)稱CGB),又一批全自動(dòng)最終清洗機(jī)順利完成交付出廠。


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該系列設(shè)備為我公司開發(fā)的專利產(chǎn)品,專業(yè)應(yīng)用于SiC襯底和SiC外延片最終清洗的工藝環(huán)節(jié)。涵蓋了全部的RCA清洗技術(shù),包括SC1、SC2、SPM、HF等藥液,通過合理有效地藥液槽的布局排列,結(jié)合超聲(兆聲)技術(shù),對(duì)SiC芯片的表面進(jìn)行清洗處理;通過自主開發(fā)的控制軟件,有效地將多ROBOT運(yùn)動(dòng)軌跡,與清洗工藝有機(jī)結(jié)合,避免了交叉污染,保證了清洗工藝的順利實(shí)施。集成在線的甩干機(jī)或Marangoni dryer單元,保證了晶片干進(jìn)干出,便于晶片進(jìn)入下一工序。

本設(shè)備具備完善的安全防護(hù)設(shè)施,配備了10級(jí)FFU,用于十級(jí)或百級(jí)凈化間。整個(gè)清洗過程,不需要人為干預(yù)。該設(shè)備已在國(guó)內(nèi)多家SiC生產(chǎn)龍頭企業(yè)使用,得到了用戶的全面認(rèn)可,具有非常高的市占率。*工藝柔性化設(shè)計(jì),工藝更改方便迅速,清洗后的6/8英寸SiC芯片,表面顆粒達(dá)到<30顆/片@0.3微米,表面金屬雜質(zhì)殘留<5E10(16種金屬離子),完全滿足SiC器件工藝對(duì)表面的技術(shù)要求。


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    北京華林嘉業(yè)科技有限公司(簡(jiǎn)稱CGB),公司總部位于中國(guó)北京亦莊國(guó)家經(jīng)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),制作基地位于河北省廊坊市香河機(jī)器人產(chǎn)業(yè)園。

    作為國(guó)內(nèi)高端濕法制程設(shè)備供應(yīng)商,CGB嚴(yán)格按照國(guó)際質(zhì)量管理體系標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全員、全方位、全過程的控制,并于2008年通過了ISO9001:2000質(zhì)量體系認(rèn)證。2013年順利通過國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)定。作為一家快速崛起的濕法制程設(shè)備制造商,CGB公司依托本地化制造基礎(chǔ)和便捷服務(wù)、國(guó)際化的經(jīng)營(yíng)理念和人才團(tuán)隊(duì)、先進(jìn)的工藝試驗(yàn)條件和暢通的零部件供應(yīng)渠道,致力于為相關(guān)領(lǐng)域企業(yè)提供先進(jìn)的槽式、單片等設(shè)備及工藝的集成解決方案。

    產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域:大規(guī)格集成電路(IC)、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、硅材料(SI)、化合物半導(dǎo)體(Compound Semi)、光通信器件(Optical Information Devices)、功率器件(Power Devices)、半導(dǎo)體照明(LED)、先進(jìn)封裝(Advanced Packaging)、光伏電池(Photovoltaic)、平板顯示(FPD)、備品備件(Parts)、科研設(shè)備(R&D Equipment)等。公司主要從事半導(dǎo)體、新材料等領(lǐng)域濕法制程設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)。產(chǎn)品性能處于國(guó)內(nèi)行業(yè)領(lǐng)先地位,并逐漸接近國(guó)際行業(yè)先進(jìn)水平。


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服務(wù)熱線/Service: 400-650-7658       86-13910297918

郵箱/Email :sales@cgbtek.com

公司網(wǎng)站/Website: http://shenjingke.com.cn

生產(chǎn)基地/Address: 河北省廊坊市香河機(jī)器人產(chǎn)業(yè)園3期A棟