中國(guó) 蘇州-半導(dǎo)體先進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展和機(jī)遇大會(huì)【化合物研討會(huì)】于2023年5月23日在蘇州 獅山國(guó)際會(huì)議中心盛大開幕！
中國(guó) 蘇州-半導(dǎo)體先進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展和機(jī)遇大會(huì)【化合物研討會(huì)】于2023年5月23日在蘇州 獅山國(guó)際會(huì)議中心盛大開幕！
本次會(huì)議共2日，2場(chǎng)主題論壇，60+專家智囊團(tuán)， 70+參展商， 300+參會(huì)企業(yè)，北京華林嘉業(yè)科技有限公司（簡(jiǎn)稱CGB）作為國(guó)內(nèi)高端濕法制程設(shè)備供應(yīng)商，經(jīng)過(guò)十幾年經(jīng)驗(yàn)沉淀，積累了雄厚的研發(fā)實(shí)力并保持持續(xù)創(chuàng)新能力，致力于為半導(dǎo)體濕法制程行業(yè)量身打造最優(yōu)方案而努力。CGB主要從事濕法制程設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品領(lǐng)域包括第三代半導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料、功率器件、集成電路制造、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)、5G化合物半導(dǎo)體、光通訊、新能源光伏、平板顯示、科研設(shè)備等領(lǐng)域。
過(guò)程清洗機(jī)CGB-WB200系列設(shè)備
該系列設(shè)備涵蓋Si/SiC襯底片加工全過(guò)程的清洗工藝，包括晶棒滾圓后的清洗、切片的脫膠與清洗、研磨片的清洗、拋光片的預(yù)清洗等工藝過(guò)程，同時(shí)包括了石英管清洗機(jī)、外延爐鐘罩清洗機(jī)等，為客戶提供襯底片加工過(guò)程的全線清洗工藝解決方案。各設(shè)備針對(duì)相應(yīng)的工藝特點(diǎn)，制定了適當(dāng)?shù)墓に囂幚聿酆颓逑垂に?，同時(shí)針對(duì)不同客戶，接受客戶的定制需求。
最終清洗機(jī)CGB-WB200系列設(shè)備
該系列設(shè)備為我公司開發(fā)的專利產(chǎn)品，專業(yè)應(yīng)用于SiC襯底和SiC外延片最終清洗的工藝環(huán)節(jié)。設(shè)備涵蓋了全部的RCA清洗技術(shù)，包括SC1、SC2、SPM、HF等藥液，通過(guò)合理有效地藥液槽的布局排列，結(jié)合超聲(兆聲)技術(shù)，對(duì)SiC芯片的表面進(jìn)行清洗處理；通過(guò)自主開發(fā)的控制軟件，有效地將多ROBOT運(yùn)動(dòng)軌跡，與清洗工藝有機(jī)結(jié)合，避免了交叉污染，保證了清洗工藝的順利實(shí)施。集成在線的甩干機(jī)或Marangoni dryer單元，保證了芯片干進(jìn)干出，便于芯片進(jìn)入下一工序。設(shè)備具備完善的安全防護(hù)設(shè)施，配備了10級(jí)FFU，用于十級(jí)或百級(jí)凈化間。整個(gè)清洗過(guò)程，不需要人為干預(yù)。已在國(guó)內(nèi)多家SiC生產(chǎn)龍頭企業(yè)使用，得到了用戶的全面認(rèn)可，具有非常高的市占率。
展會(huì)期間，華林嘉業(yè)團(tuán)隊(duì)成員對(duì)到訪參觀咨詢者進(jìn)行詳細(xì)的講解和專業(yè)回答，以便各位咨詢者更深入的了解華林嘉業(yè)，同時(shí)也充分體現(xiàn)了我司售前及售后服務(wù)的專業(yè)度。我司展位號(hào)為C10，展會(huì)還火熱進(jìn)行中，華林嘉業(yè)歡迎每位同仁的光臨及關(guān)注，誠(chéng)摯的邀請(qǐng)您到訪參觀交流學(xué)習(xí)。
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